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    Titel:

    Transport phenomena in a slim vertical atmospheric pressure chemical vapor deposition reactor utilizing natural convection

    Beteiligte:

    Yamada, Ayami (Autor:in) / Li, Ning (Autor:in) / Matsuo, Miya (Autor:in) / Muroi, Mitsuko (Autor:in) / Habuka, Hitoshi (Autor:in) / Ishida, Yuuki (Autor:in) / Ikeda, Shin-Ichi (Autor:in) / Hara, Shiro (Autor:in)

    Erschienen in:

    Materials science in semiconductor processing ; 71 ; 348-351

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2017

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    1369-8001

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.38152

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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