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    Titel:

    Growth and characterization of amorphous boron nitride dielectric films on Si via RF sputtering at room temperature

    Beteiligte:

    Abbas, Qasim (Autor:in) / Liang, Hongwei (Autor:in) / Shi, Jianjun (Autor:in) / Chen, Yuanpeng (Autor:in) / Xia, Xiaochuan (Autor:in) / Ahmad, Aqrab ul (Autor:in) / Liu, Jianxun (Autor:in) / Du, Guotong (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS LETTERS ; 227 ; 284-288

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2018

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0167-577X

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Unbekannt

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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