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    Titel:

    Predictive modeling of material removal rate in chemical mechanical planarization with physics-informed machine learning

    Beteiligte:

    Yu, Tianyu (Autor:in) / Li, Zhixiong (Autor:in) / Wu, Dazhong (Autor:in)

    Erschienen in:

    Wear = ; 426 ; 1430-1438

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2019

    Format / Umfang:

    9 pages

    ISSN:

    0043-1648

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.89

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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