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    Provided is a silicon nitride substrate which comprises silicon nitride and magnesium, wherein when the surface of the silicon nitride substrate is analyzed with an X-ray fluorescence analyzer under a specific condition I, XB/XA is 0.8 to 1.0.

    本发明提供氮化硅基板，其为含有氮化硅和镁的氮化硅基板，在特定的条件I下，利用X射线荧光分析装置对氮化硅基板的表面进行分析时，XB/XA为0.8以上、1.0以下。

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    Titel:

    SILICON NITRIDE SUBSTRATE, SILICON NITRIDE-METAL COMPLEX, SILICON NITRIDE CIRCUIT BOARD, AND SEMICONDUCTOR PACKAGE

    Weitere Titelangaben:

    氮化硅基板、氮化硅-金属复合体、氮化硅电路基板及半导体封装件

    Beteiligte:

    TSUGAWA YUTA (Autor:in) / KOBASHI SEIJI (Autor:in) / NISHIMURA KOJI (Autor:in)

    Erscheinungsdatum:

    09.11.2021

    Medientyp:

    Patent

    Format:

    Elektronische Ressource

    Sprache:

    Chinesisch

    Klassifikation:

    IPC:  H01L Halbleiterbauelemente , SEMICONDUCTOR DEVICES / C04B Kalk , LIME / G01N Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften , INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES

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