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    PRODUCTION METHOD FOR C12A7 ELECTRIDE THIN FILM, AND C12A7 ELECTRIDE THIN FILM

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    A C12A7 electride thin film fabrication method includes a step of forming an amorphous C12A7 electride thin film on a substrate by vapor deposition under a low-oxygen-partial-pressure atmosphere using a target made of a crystalline C12A7 electride having an electron density within a range of 2.0×10 18 cm -3 to 2.3×10 21 cm -3 .

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    PRODUCTION METHOD FOR C12A7 ELECTRIDE THIN FILM, AND C12A7 ELECTRIDE THIN FILM

    Weitere Titelangaben:

    HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINE C12A7-ELEKTRID-DÜNNSCHICHT UND C12A7-ELEKTRID-DÜNNSCHICHT
    PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE COUCHE MINCE D'ÉLECTRURE C12A7 ET COUCHE MINCE D'ÉLECTRURE C12A7

    Beteiligte:

    HOSONO HIDEO (Autor:in) / TODA YOSHITAKE (Autor:in) / HAYASHI KATSURO (Autor:in) / ITO SETSURO (Autor:in) / WATANABE SATORU (Autor:in) / MIYAKAWA NAOMICHI (Autor:in) / WATANABE TOSHINARI (Autor:in) / ITO KAZUHIRO (Autor:in)

    Erscheinungsdatum:

    11.08.2021

    Medientyp:

    Patent

    Format:

    Elektronische Ressource

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    IPC:  C23C Beschichten metallischer Werkstoffe , COATING METALLIC MATERIAL / C04B Kalk , LIME / H01B CABLES , Kabel / H01L Halbleiterbauelemente , SEMICONDUCTOR DEVICES / H05B ELECTRIC HEATING , Elektrische Heizung

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