Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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METHOD OF PRODUCING HIGH PURITY SILICON NITRIDE POWDER
To provide a technique of efficiently and inexpensively producing high purity silicon nitride powder of excellent crystallinity and a low impurity content such as iron and aluminum.SOLUTION: A method of producing high purity silicon nitride powder comprising mixing silicon powder and silicon nitride as a diluent, filling a crucible with the mixed powder, producing aggregate constituted of silicon nitride by a combustion synthesis method, and crushing the aggregate, is characterized in that the silicon powder and the diluent each have an iron and aluminum content of 100 ppm or less respectively, the total content of metallic impurities other than iron and aluminum is 100 ppm or less, the blend ratio of the silicon powder and the diluent is 9:1 to 5:5 in terms of mass ratio, the bulk density of a powder layer of the mixed powder is 0.3 to 0.65 g/cm, and the aggregate is crushed using a crusher filled with or lined with a crushing medium containing silicon nitride.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】 結晶性が良好で、かつ鉄、アルミニウムなどの不純物含有量の少ない高純度の窒化ケイ素微粉末を燃焼合成法によって効率的かつ安価に製造する技術を提供する。【解決手段】 シリコン粉末と希釈剤の窒化ケイ素とを混合し、混合粉末をルツボに充填して、燃焼合成法により窒化ケイ素から構成される凝結塊を製造し、前記凝結塊を粉砕する窒化ケイ素粉末の製造方法であって、前記シリコン粉末および前記希釈剤は、鉄およびアルミニウムの含有量がそれぞれ１００ｐｐｍ以下であり、鉄およびアルミニウム以外の金属不純物の合計含有量が１００ｐｐｍ以下であり、前記シリコン粉末と前記希釈剤との配合比は、質量比で９：１〜５：５であり、前記混合粉末の粉体層の嵩密度は０．３〜０．６５ｇ／ｃｍ３であり、前記凝結塊を、窒化ケイ素を含む粉砕媒体を装填または装着した粉砕装置を使用して粉砕する高純度窒化ケイ素粉末の製造方法。【選択図】 図１
METHOD OF PRODUCING HIGH PURITY SILICON NITRIDE POWDER
To provide a technique of efficiently and inexpensively producing high purity silicon nitride powder of excellent crystallinity and a low impurity content such as iron and aluminum.SOLUTION: A method of producing high purity silicon nitride powder comprising mixing silicon powder and silicon nitride as a diluent, filling a crucible with the mixed powder, producing aggregate constituted of silicon nitride by a combustion synthesis method, and crushing the aggregate, is characterized in that the silicon powder and the diluent each have an iron and aluminum content of 100 ppm or less respectively, the total content of metallic impurities other than iron and aluminum is 100 ppm or less, the blend ratio of the silicon powder and the diluent is 9:1 to 5:5 in terms of mass ratio, the bulk density of a powder layer of the mixed powder is 0.3 to 0.65 g/cm, and the aggregate is crushed using a crusher filled with or lined with a crushing medium containing silicon nitride.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】 結晶性が良好で、かつ鉄、アルミニウムなどの不純物含有量の少ない高純度の窒化ケイ素微粉末を燃焼合成法によって効率的かつ安価に製造する技術を提供する。【解決手段】 シリコン粉末と希釈剤の窒化ケイ素とを混合し、混合粉末をルツボに充填して、燃焼合成法により窒化ケイ素から構成される凝結塊を製造し、前記凝結塊を粉砕する窒化ケイ素粉末の製造方法であって、前記シリコン粉末および前記希釈剤は、鉄およびアルミニウムの含有量がそれぞれ１００ｐｐｍ以下であり、鉄およびアルミニウム以外の金属不純物の合計含有量が１００ｐｐｍ以下であり、前記シリコン粉末と前記希釈剤との配合比は、質量比で９：１〜５：５であり、前記混合粉末の粉体層の嵩密度は０．３〜０．６５ｇ／ｃｍ３であり、前記凝結塊を、窒化ケイ素を含む粉砕媒体を装填または装着した粉砕装置を使用して粉砕する高純度窒化ケイ素粉末の製造方法。【選択図】 図１
METHOD OF PRODUCING HIGH PURITY SILICON NITRIDE POWDER
高純度窒化ケイ素粉末の製造方法
OMARU TAKUJI (Autor:in) / SHIBATA KOJI (Autor:in) / YAMAO TAKESHI (Autor:in) / YAMADA TETSUO (Autor:in)
13.02.2020
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
METHOD FOR PRODUCING HIGH-PURITY SILICON NITRIDE POWDER
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Preparation method of high-purity silicon nitride powder
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High-purity silicon nitride powder and preparation method thereof
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SILICON NITRIDE POWDER AND METHOD FOR PRODUCING SILICON NITRIDE POWDER
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Preparation process of high-purity superfine silicon nitride powder
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