Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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METHOD FOR PRODUCING HIGH-PURITY SILICON NITRIDE POWDER
Provided is a technique for producing silicon nitride powder having excellent crystallinity and low contained amounts of impurities such as iron and aluminum efficiently and inexpensively by a combustion synthesis method. A method for producing silicon nitride powder, the method comprising mixing silicon powder and diluent silicon nitride, packing the mixed powder into a crucible, producing an agglomerate configured from silicon nitride by a combustion synthesis method, and pulverizing the agglomerate, wherein the contained amounts of iron and aluminum in the silicon powder and diluent are each 100 ppm or less, the total contained amount of metal impurities other than iron and aluminum is 100 ppm or less, the mixture ratio of the silicon powder and the diluent is 9:1 to 5:5 by mass ratio, the bulk density of a powder layer of the mixed powder is 0.3-0.65 g/cm3, and the method for producing high-purity silicon nitride powder comprises pulverizing the agglomerate using a pulverizer loaded or equipped with a grinding medium that includes silicon nitride.
L'invention concerne une technique de production de poudre de nitrure de silicium ayant une excellente cristallinité et de faibles quantités contenues d'impuretés telles que le fer et l'aluminium, de manière efficace et peu coûteuse, par une méthode de synthèse par combustion. L'invention concerne également une méthode de production de poudre de nitrure de silicium, la méthode comprenant le mélange de poudre de silicium et de nitrure de silicium diluant, le tassement de la poudre mélangée dans un creuset, la production d'un agglomérat conçu à partir de nitrure de silicium par une méthode de synthèse par combustion, et la pulvérisation de l'agglomérat, les quantités contenues de fer et d'aluminium dans la poudre de silicium et le diluant étant chacune de 100 ppm ou moins, la quantité totale contenue d'impuretés métalliques autres que le fer et l'aluminium étant inférieure ou égale à 100 ppm, le rapport de mélange de la poudre de silicium et du diluant est de 9:1 à 5:5 en rapport de masse, la densité apparente d'une couche de poudre de la poudre mélangée est de 0,3 à 0,65 g/cm3, et la méthode de production de poudre de nitrure de silicium de haute pureté comprend la pulvérisation de l'agglomérat à l'aide d'un pulvérisateur chargé ou équipé d'un milieu de broyage qui comprend du nitrure de silicium.
結晶性が良好で、かつ鉄、アルミニウムなどの不純物含有量の少ない高純度の窒化ケイ素微粉末を燃焼合成法によって効率的かつ安価に製造する技術を提供する。シリコン粉末と希釈剤の窒化ケイ素とを混合し、混合粉末をルツボに充填して、燃焼合成法により窒化ケイ素から構成される凝結塊を製造し、前記凝結塊を粉砕する窒化ケイ素粉末の製造方法であって、前記シリコン粉末および前記希釈剤は、鉄およびアルミニウムの含有量がそれぞれ１００ｐｐｍ以下であり、鉄およびアルミニウム以外の金属不純物の合計含有量が１００ｐｐｍ以下であり、前記シリコン粉末と前記希釈剤との配合比は、質量比で９：１～５：５であり、前記混合粉末の粉体層の嵩密度は０．３～０．６５ｇ／ｃｍ３であり、前記凝結塊を、窒化ケイ素を含む粉砕媒体を装填または装着した粉砕装置を使用して粉砕する高純度窒化ケイ素粉末の製造方法。
METHOD FOR PRODUCING HIGH-PURITY SILICON NITRIDE POWDER
Provided is a technique for producing silicon nitride powder having excellent crystallinity and low contained amounts of impurities such as iron and aluminum efficiently and inexpensively by a combustion synthesis method. A method for producing silicon nitride powder, the method comprising mixing silicon powder and diluent silicon nitride, packing the mixed powder into a crucible, producing an agglomerate configured from silicon nitride by a combustion synthesis method, and pulverizing the agglomerate, wherein the contained amounts of iron and aluminum in the silicon powder and diluent are each 100 ppm or less, the total contained amount of metal impurities other than iron and aluminum is 100 ppm or less, the mixture ratio of the silicon powder and the diluent is 9:1 to 5:5 by mass ratio, the bulk density of a powder layer of the mixed powder is 0.3-0.65 g/cm3, and the method for producing high-purity silicon nitride powder comprises pulverizing the agglomerate using a pulverizer loaded or equipped with a grinding medium that includes silicon nitride.
L'invention concerne une technique de production de poudre de nitrure de silicium ayant une excellente cristallinité et de faibles quantités contenues d'impuretés telles que le fer et l'aluminium, de manière efficace et peu coûteuse, par une méthode de synthèse par combustion. L'invention concerne également une méthode de production de poudre de nitrure de silicium, la méthode comprenant le mélange de poudre de silicium et de nitrure de silicium diluant, le tassement de la poudre mélangée dans un creuset, la production d'un agglomérat conçu à partir de nitrure de silicium par une méthode de synthèse par combustion, et la pulvérisation de l'agglomérat, les quantités contenues de fer et d'aluminium dans la poudre de silicium et le diluant étant chacune de 100 ppm ou moins, la quantité totale contenue d'impuretés métalliques autres que le fer et l'aluminium étant inférieure ou égale à 100 ppm, le rapport de mélange de la poudre de silicium et du diluant est de 9:1 à 5:5 en rapport de masse, la densité apparente d'une couche de poudre de la poudre mélangée est de 0,3 à 0,65 g/cm3, et la méthode de production de poudre de nitrure de silicium de haute pureté comprend la pulvérisation de l'agglomérat à l'aide d'un pulvérisateur chargé ou équipé d'un milieu de broyage qui comprend du nitrure de silicium.
結晶性が良好で、かつ鉄、アルミニウムなどの不純物含有量の少ない高純度の窒化ケイ素微粉末を燃焼合成法によって効率的かつ安価に製造する技術を提供する。シリコン粉末と希釈剤の窒化ケイ素とを混合し、混合粉末をルツボに充填して、燃焼合成法により窒化ケイ素から構成される凝結塊を製造し、前記凝結塊を粉砕する窒化ケイ素粉末の製造方法であって、前記シリコン粉末および前記希釈剤は、鉄およびアルミニウムの含有量がそれぞれ１００ｐｐｍ以下であり、鉄およびアルミニウム以外の金属不純物の合計含有量が１００ｐｐｍ以下であり、前記シリコン粉末と前記希釈剤との配合比は、質量比で９：１～５：５であり、前記混合粉末の粉体層の嵩密度は０．３～０．６５ｇ／ｃｍ３であり、前記凝結塊を、窒化ケイ素を含む粉砕媒体を装填または装着した粉砕装置を使用して粉砕する高純度窒化ケイ素粉末の製造方法。
METHOD FOR PRODUCING HIGH-PURITY SILICON NITRIDE POWDER
MÉTHODE DE PRODUCTION DE POUDRE DE NITRURE DE SILICIUM DE HAUTE PURETÉ
高純度窒化ケイ素粉末の製造方法
OHMARU TAKUJI (Autor:in) / SHIBATA KOJI (Autor:in) / YAMAO TAKESHI (Autor:in) / YAMADA TETSUO (Autor:in)
21.06.2018
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
METHOD OF PRODUCING HIGH PURITY SILICON NITRIDE POWDER
| Europäisches Patentamt | 2020
Preparation method of high-purity silicon nitride powder
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High-purity silicon nitride powder and preparation method thereof
| Europäisches Patentamt | 2024
SILICON NITRIDE POWDER AND METHOD FOR PRODUCING SILICON NITRIDE POWDER
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Preparation process of high-purity superfine silicon nitride powder
| Europäisches Patentamt | 2024