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Verfahren zur Herstellung eines Siliciumnitrid-Substrates
Ein Verfahren zur Herstellung eines Siliciumnitrid-Substrates beinhaltet einen Rohmaterialpulver-Herstellungsschritt zum Herstellen eines Rohmaterialpulvers, das ein Silicium-Pulver, eine Seltenerdelement-Verbindung und eine Magnesiumverbindung enthält, wobei, wenn die Menge des Siliciums in dem Rohmaterialpulver in Bezug auf einen Siliciumnitrid-Gehalt ausgedrückt wird, das Rohmaterialpulver die Seltenerdelement-Verbindung mit 1 Mol% bis 7 Mol% in Bezug auf einen Oxidgehalt enthält und die Magnesiumverbindung mit 8 Mol% bis 15 Mol% in Bezug auf einen Oxidgehalt enthält; einen Folienformungsschritt zum Formen des Rohmaterialpulvers in einen Foliengegenstand; einen Nitrierschritt zum Erhitzen des Foliengegenstandes in einer Stickstoffatmosphäre bei 1200 °C bis 1500°C und Nitrieren des Siliciums, das in dem Foliengegenstand enthalten ist; und einen Sinterschritt zum Sintern des Foliengegenstandes unter einer Stickstoffatmosphäre nach dem Nitrierschritt.
A method for producing a silicon nitride substrate includes a raw material powder preparation step of preparing a raw material powder containing a silicon powder, a rare earth element compound, and a magnesium compound, wherein, when the amount of silicon in the raw material powder is expressed in terms of a silicon nitride content, the raw material powder contains the rare earth element compound at 1 mol % to 7 mol % in terms of an oxide content and contains the magnesium compound at 8 mol % to 15 mol % in terms of an oxide content; a sheet forming step of forming the raw material powder into a sheet article; a nitriding step of heating the sheet article in a nitrogen atmosphere at 1200° C. to 1500° C. and nitriding silicon contained in the sheet article; and a sintering step of sintering the sheet article under a nitrogen atmosphere after the nitriding step.
Verfahren zur Herstellung eines Siliciumnitrid-Substrates
Ein Verfahren zur Herstellung eines Siliciumnitrid-Substrates beinhaltet einen Rohmaterialpulver-Herstellungsschritt zum Herstellen eines Rohmaterialpulvers, das ein Silicium-Pulver, eine Seltenerdelement-Verbindung und eine Magnesiumverbindung enthält, wobei, wenn die Menge des Siliciums in dem Rohmaterialpulver in Bezug auf einen Siliciumnitrid-Gehalt ausgedrückt wird, das Rohmaterialpulver die Seltenerdelement-Verbindung mit 1 Mol% bis 7 Mol% in Bezug auf einen Oxidgehalt enthält und die Magnesiumverbindung mit 8 Mol% bis 15 Mol% in Bezug auf einen Oxidgehalt enthält; einen Folienformungsschritt zum Formen des Rohmaterialpulvers in einen Foliengegenstand; einen Nitrierschritt zum Erhitzen des Foliengegenstandes in einer Stickstoffatmosphäre bei 1200 °C bis 1500°C und Nitrieren des Siliciums, das in dem Foliengegenstand enthalten ist; und einen Sinterschritt zum Sintern des Foliengegenstandes unter einer Stickstoffatmosphäre nach dem Nitrierschritt.
A method for producing a silicon nitride substrate includes a raw material powder preparation step of preparing a raw material powder containing a silicon powder, a rare earth element compound, and a magnesium compound, wherein, when the amount of silicon in the raw material powder is expressed in terms of a silicon nitride content, the raw material powder contains the rare earth element compound at 1 mol % to 7 mol % in terms of an oxide content and contains the magnesium compound at 8 mol % to 15 mol % in terms of an oxide content; a sheet forming step of forming the raw material powder into a sheet article; a nitriding step of heating the sheet article in a nitrogen atmosphere at 1200° C. to 1500° C. and nitriding silicon contained in the sheet article; and a sintering step of sintering the sheet article under a nitrogen atmosphere after the nitriding step.
Verfahren zur Herstellung eines Siliciumnitrid-Substrates
KUSANO DAI (author) / HIRAO KIYOSHI (author) / HYUGA HIDEKI (author) / ZHOU YOU (author) / TANABE GEN (author)
2017-02-16
Patent
Electronic Resource
German
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
| European Patent Office | 2024
Siliciumnitrid-Pulver und -Sinterkörper sowie Verfahren zu deren Herstellung und Leiterplatte damit
| European Patent Office | 2015
| European Patent Office | 2016
Substrat mit Siliciumnitrid-Sinterkörper und Leiterplatte
| European Patent Office | 2015