A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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SUBSTRATE PROCESSING EQUIPMENT AND DRIVING METHOD OF SUBSTRATE PROCESSING EQUIPMENT
본 발명은 기판 처리 설비 및 기판 처리 설비의 구동 방법에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 작업자가 공정 챔버나 전력 공급 계통을 점검시 메인 차단기와 분기 차단기로 공급되는 전력이 자동으로 차단되도록 하는 기판 처리 설비 및 기판 처리 설비의 구동 방법을 제공하는 데 있다. 그에 따른 본 발명의 기판 처리 설비는 기판을 처리하는 기판 처리 설비에 있어서, 기판을 처리하는 공정에 이용되는 부하들을 가지는 공정 처리 모듈; 상기 공정 처리 모듈에 주변에 설치되며, 상기 부하들과 전기적으로 연결되는 분기 차단기; 상기 분기 차단기와 전기적으로 연결되며, 상기 분기 차단기로 전력으로 공급하는 메인 차단기; 및 상기 분기 차단기가 실장되며, 전력 분배반 도어를 가지는 전력 분배반; 을 포함하며, 상기 메인 차단기는 상기 전력 분배반 도어가 오픈되는 경우 전력이 차단될 수 있다.
Disclosed are a substrate processing equipment and a method of driving the substrate processing equipment, which automatically cut off power supplied to a main circuit breaker and a branch circuit breaker when an operator inspects a process chamber or a power supply system. The substrate processing equipment for processing a substrate includes: a process processing module including loads utilized in a process for processing a substrate; a branch circuit breaker installed on a periphery to the process processing module and electrically connected to the loads; a main circuit breaker electrically connected to the branch circuit breaker and supplying power to the branch circuit breaker; and a power distribution board in which the branch circuit breaker is mounted, and including a power distribution board door, in which the main circuit breaker cuts off power when the power distribution board door is opened.
SUBSTRATE PROCESSING EQUIPMENT AND DRIVING METHOD OF SUBSTRATE PROCESSING EQUIPMENT
본 발명은 기판 처리 설비 및 기판 처리 설비의 구동 방법에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 작업자가 공정 챔버나 전력 공급 계통을 점검시 메인 차단기와 분기 차단기로 공급되는 전력이 자동으로 차단되도록 하는 기판 처리 설비 및 기판 처리 설비의 구동 방법을 제공하는 데 있다. 그에 따른 본 발명의 기판 처리 설비는 기판을 처리하는 기판 처리 설비에 있어서, 기판을 처리하는 공정에 이용되는 부하들을 가지는 공정 처리 모듈; 상기 공정 처리 모듈에 주변에 설치되며, 상기 부하들과 전기적으로 연결되는 분기 차단기; 상기 분기 차단기와 전기적으로 연결되며, 상기 분기 차단기로 전력으로 공급하는 메인 차단기; 및 상기 분기 차단기가 실장되며, 전력 분배반 도어를 가지는 전력 분배반; 을 포함하며, 상기 메인 차단기는 상기 전력 분배반 도어가 오픈되는 경우 전력이 차단될 수 있다.
Disclosed are a substrate processing equipment and a method of driving the substrate processing equipment, which automatically cut off power supplied to a main circuit breaker and a branch circuit breaker when an operator inspects a process chamber or a power supply system. The substrate processing equipment for processing a substrate includes: a process processing module including loads utilized in a process for processing a substrate; a branch circuit breaker installed on a periphery to the process processing module and electrically connected to the loads; a main circuit breaker electrically connected to the branch circuit breaker and supplying power to the branch circuit breaker; and a power distribution board in which the branch circuit breaker is mounted, and including a power distribution board door, in which the main circuit breaker cuts off power when the power distribution board door is opened.
SUBSTRATE PROCESSING EQUIPMENT AND DRIVING METHOD OF SUBSTRATE PROCESSING EQUIPMENT
기판 처리 설비 및 기판 처리 설비의 구동 방법
KIM JAE MIN (author) / LEE GUN MIN (author)
2024-12-24
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC:
H02J
CIRCUIT ARRANGEMENTS OR SYSTEMS FOR SUPPLYING OR DISTRIBUTING ELECTRIC POWER
,
Schaltungsanordnungen oder Systeme für die Abgabe oder Verteilung elektrischer Leistung
/
E05F
DEVICES FOR MOVING WINGS INTO OPEN OR CLOSED POSITION
,
Vorrichtungen zum Bewegen der Flügel in die Offen- oder Schließstellung
/
H01L
Halbleiterbauelemente
,
SEMICONDUCTOR DEVICES
/
H02B
BOARDS, SUBSTATIONS, OR SWITCHING ARRANGEMENTS FOR THE SUPPLY OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
,
Schalttafeln, Unterstationen oder Schaltanordnungen für die Abgabe oder Verteilung elektrischer Energie
Piston assembly, air cylinder and equipment for processing substrate
| European Patent Office | 2023
DISCHARGE DEVICE, SUBSTRATE PROCESSING STRUCTURE AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD
| European Patent Office | 2022
Ceramic substrate processing method and ceramic substrate
| European Patent Office | 2024
Ultrapure water supply apparatus, substrate processing system, and substrate processing method
| European Patent Office | 2023
METHOD FOR PROCESSING CERAMIC SUBSTRATE AND CERAMIC SUBSTRATE
| European Patent Office | 2023