A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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METHOD FOR MANUFACTURING VACUUM DEPOSITION TABLET, OXIDE TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM, AND TIN-OXIDE-BASED SINTERED BODY
[Problem] To provide a method for manufacturing an oxide transparent conductive film to be provided on a reverse surface side of a heterojunction solar cell, a vacuum deposition tablet serving as a vacuum deposition source when forming the transparent conductive film, and a tin-oxide-based sintered body that constitutes said tablet. [Solution] A vacuum deposition tablet according to the present invention is characterized by: having tin oxide as a main component; including 0.5 mass% to 10 mass% zinc oxide, 0.1 mass% to 0.5 mass% germanium oxide, and 0.1 mass% to 1.0 mass% tantalum oxide; and being constituted by a tin-oxide-based sintered body having a density of 3.75 g/cm3 to 4.40 g/cm3. An oxide transparent conductive film according to the present invention is characterized by: having tin oxide as a main component; including 0.5 mass% to 10 mass% zinc oxide, 0.1 mass% to 0.5 mass% germanium oxide, and 0.1 mass% to 1.0 mass% tantalum oxide; and having, at a film thickness of 100 nm, a light transmittance of 90% or more for wavelengths of 450 nm to 800 nm.
L'invention a pour objet un procédé pour la fabrication d'un film conducteur transparent en oxyde destiné à être disposé sur un côté de surface arrière d'une cellule solaire à hétérojonction, une pastille pour le dépôt sous vide servant de source de dépôt sous vide lors de la formation du film conducteur transparent et un corps fritté à base d'oxyde d'étain qui constitue ladite pastille. À cet effet la présente invention porte sur une pastille pour le dépôt sous vide qui est caractérisée en ce que : elle comprend de l'oxyde d'étain en tant que composant principal ; elle renferme 0,5 % en masse à 10 % en masse d'oxyde de zinc, 0,1 % en masse à 0,5 % en masse d'oxyde de germanium et 0,1 % en masse à 1,0 % en masse d'oxyde de tantale ; et elle est constituée d'un corps fritté à base d'oxyde d'étain ayant une masse volumique de 3,75 g/cm3 à 4,40 g/cm3. La présente invention porte également sur un film conducteur transparent à base d'oxyde caractérisé en ce que : il comprend de l'oxyde d'étain en tant que composant principal ; il renferme 0,5 % en masse à 10 % en masse d'oxyde de zinc, 0,1 % en masse à 0,5 % en masse d'oxyde de germanium et 0,1 % en masse à 1,0 % en masse d'oxyde de tantale ; et il a, à une épaisseur de film de 100 nm, une transmittance de la lumière supérieure ou égale à 90 % pour des longueurs d'onde de 450 nm à 800 nm.
【課題】ヘテロ接合型太陽電池の裏面側に設けられる酸化物透明導電膜、この透明導電膜を形成する際の蒸着源となる蒸着用タブレットおよびこのタブレットを構成する酸化錫系焼結体の製造方法を提供する。 【解決手段】蒸着用タブレットは、酸化錫を主成分とし、酸化亜鉛を0.5質量％以上10質量％以下、酸化ゲルマニウムを0.1質量％以上0.5質量％以下、酸化タンタルを0.1質量％以上1.0質量％以下含有し、密度が3.75ｇ／ｃｍ3以上4.40ｇ/ｃｍ3以下である酸化錫系焼結体により構成されることを特徴とし、酸化物透明導電膜は、酸化錫を主成分とし、酸化亜鉛を0.5質量％以上10質量％以下、酸化ゲルマニウムを0.1質量％以上0.5質量％以下、酸化タンタルを0.1質量％以上1.0質量％以下含有し、膜厚100ｎｍにおける波長450～800ｎｍの光透過率が90％以上であることを特徴とする。
METHOD FOR MANUFACTURING VACUUM DEPOSITION TABLET, OXIDE TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM, AND TIN-OXIDE-BASED SINTERED BODY
[Problem] To provide a method for manufacturing an oxide transparent conductive film to be provided on a reverse surface side of a heterojunction solar cell, a vacuum deposition tablet serving as a vacuum deposition source when forming the transparent conductive film, and a tin-oxide-based sintered body that constitutes said tablet. [Solution] A vacuum deposition tablet according to the present invention is characterized by: having tin oxide as a main component; including 0.5 mass% to 10 mass% zinc oxide, 0.1 mass% to 0.5 mass% germanium oxide, and 0.1 mass% to 1.0 mass% tantalum oxide; and being constituted by a tin-oxide-based sintered body having a density of 3.75 g/cm3 to 4.40 g/cm3. An oxide transparent conductive film according to the present invention is characterized by: having tin oxide as a main component; including 0.5 mass% to 10 mass% zinc oxide, 0.1 mass% to 0.5 mass% germanium oxide, and 0.1 mass% to 1.0 mass% tantalum oxide; and having, at a film thickness of 100 nm, a light transmittance of 90% or more for wavelengths of 450 nm to 800 nm.
L'invention a pour objet un procédé pour la fabrication d'un film conducteur transparent en oxyde destiné à être disposé sur un côté de surface arrière d'une cellule solaire à hétérojonction, une pastille pour le dépôt sous vide servant de source de dépôt sous vide lors de la formation du film conducteur transparent et un corps fritté à base d'oxyde d'étain qui constitue ladite pastille. À cet effet la présente invention porte sur une pastille pour le dépôt sous vide qui est caractérisée en ce que : elle comprend de l'oxyde d'étain en tant que composant principal ; elle renferme 0,5 % en masse à 10 % en masse d'oxyde de zinc, 0,1 % en masse à 0,5 % en masse d'oxyde de germanium et 0,1 % en masse à 1,0 % en masse d'oxyde de tantale ; et elle est constituée d'un corps fritté à base d'oxyde d'étain ayant une masse volumique de 3,75 g/cm3 à 4,40 g/cm3. La présente invention porte également sur un film conducteur transparent à base d'oxyde caractérisé en ce que : il comprend de l'oxyde d'étain en tant que composant principal ; il renferme 0,5 % en masse à 10 % en masse d'oxyde de zinc, 0,1 % en masse à 0,5 % en masse d'oxyde de germanium et 0,1 % en masse à 1,0 % en masse d'oxyde de tantale ; et il a, à une épaisseur de film de 100 nm, une transmittance de la lumière supérieure ou égale à 90 % pour des longueurs d'onde de 450 nm à 800 nm.
【課題】ヘテロ接合型太陽電池の裏面側に設けられる酸化物透明導電膜、この透明導電膜を形成する際の蒸着源となる蒸着用タブレットおよびこのタブレットを構成する酸化錫系焼結体の製造方法を提供する。 【解決手段】蒸着用タブレットは、酸化錫を主成分とし、酸化亜鉛を0.5質量％以上10質量％以下、酸化ゲルマニウムを0.1質量％以上0.5質量％以下、酸化タンタルを0.1質量％以上1.0質量％以下含有し、密度が3.75ｇ／ｃｍ3以上4.40ｇ/ｃｍ3以下である酸化錫系焼結体により構成されることを特徴とし、酸化物透明導電膜は、酸化錫を主成分とし、酸化亜鉛を0.5質量％以上10質量％以下、酸化ゲルマニウムを0.1質量％以上0.5質量％以下、酸化タンタルを0.1質量％以上1.0質量％以下含有し、膜厚100ｎｍにおける波長450～800ｎｍの光透過率が90％以上であることを特徴とする。
METHOD FOR MANUFACTURING VACUUM DEPOSITION TABLET, OXIDE TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM, AND TIN-OXIDE-BASED SINTERED BODY
PROCÉDÉ POUR LA FABRICATION D'UNE PASTILLE POUR LE DÉPÔT SOUS VIDE, FILM CONDUCTEUR TRANSPARENT EN OXYDE ET CORPS FRITTÉ À BASE D'OXYDE D'ÉTAIN
蒸着用タブレットと酸化物透明導電膜および酸化錫系焼結体の製造方法
KUWAHARA MASAKAZU (author)
2021-02-04
Patent
Electronic Resource
Japanese
TIN OXIDE-BASED SINTERED BODY TABLET AND OXIDE TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM
| European Patent Office | 2016
| European Patent Office | 2021
OXIDE SINTERED BODY AND TRANSPARENT CONDUCTIVE OXIDE FILM
| European Patent Office | 2021
OXIDE SINTERED BODY AND OXIDE TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM
| European Patent Office | 2017
OXIDE SINTERED BODY AND OXIDE TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM
| European Patent Office | 2017