A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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CERAMIC SUBSTRATE, AND SEMICONDUCTOR DEVICE SUBSTRATE PROVIDED WITH SAME
A ceramic substrate according to the present invention contains alumina, zirconia, yttria, and a glassy substance. The glassy substance contains, as elements, Si, an alkali metal, and O which are each a first component, and contains, as an element, at least one selected from Ca, Sr, and Ba which are each a second component. The contained amount of the zirconia is 5-14 wt%. When the value obtained by dividing the concentration of the alkali metal, which is the first component of the glassy substance, as expressed in terms of an oxide, by an interface total distance (grain boundary length) at which Al2O3, ZrO2, and SiO2 are located adjacent to each other is defined as A, when the concentration of Si, which is the first component of the glassy substance, as expressed in terms of an oxide is defined as B, and when the total mass concentration of Ca, Sr, and Ba, which are each the second component of the glassy substance, as expressed in terms of an oxide is defined as C, the value of A/(B×C) is 7.1×10-4 or less.
Un substrat céramique selon la présente invention contient de l'alumine, de la zircone, de l'yttria, et une substance vitreuse. La substance vitreuse contient, en tant qu'éléments, Si, un métal alcalin, et O qui sont chacun un premier composant, et contient, en tant qu'élément, au moins l'un choisi parmi Ca, Sr et Ba qui sont chacun un second composant. La quantité contenue de zircone va de 5 à 14 % en poids. Lorsque la valeur obtenue en divisant la concentration du métal alcalin, qui est le premier composant de la substance vitreuse, telle qu'exprimée en termes d'oxyde, par une distance totale d'interface (longueur de limite de grain) à laquelle Al2O3, ZrO2 et SiO2 sont situés adjacents l'un à l'autre est définie comme étant A, lorsque la concentration de Si, qui est le premier composant de la substance vitreuse, telle qu'exprimée en termes d'oxyde est définie en tant que B, et lorsque la concentration massique totale de Ca, Sr, et Ba, qui sont chacun le second composant de la substance vitreuse, telle qu'exprimée en termes d'oxyde est définie en tant que C, la valeur de A(B/C) est 7,1×10-4 ou moins.
本発明に係るセラミック基板は、アルミナと、ジルコニアと、イットリアと、ガラス質と、を含有し、前記ガラス質は、第１成分として、元素として、Ｓｉ、アルカリ金属、及びＯを含み、第２成分として、元素として、Ｃａ、Ｓｒ、及びＢａから選択される少なくとも１種類を含み、前記ジルコニアの含有量が５～１４ｗｔ％であり、前記ガラス質の第１成分である前記アルカリ金属の酸化物換算での濃度を、Ａｌ2Ｏ3、ＺｒＯ2、ＳｉＯ2同士が各々隣接する界面総距離（粒界長さ）で除した値をＡとし、前記ガラス質の第１成分であるＳｉの酸化物換算での濃度をＢとし、前記ガラス質の第２成分であるＣａ、Ｓｒ、及びＢａの酸化物換算での合計質量濃度をＣとしたとき、Ａ／（Ｂ×Ｃ）の値が、７．１×１０-4以下である。
CERAMIC SUBSTRATE, AND SEMICONDUCTOR DEVICE SUBSTRATE PROVIDED WITH SAME
A ceramic substrate according to the present invention contains alumina, zirconia, yttria, and a glassy substance. The glassy substance contains, as elements, Si, an alkali metal, and O which are each a first component, and contains, as an element, at least one selected from Ca, Sr, and Ba which are each a second component. The contained amount of the zirconia is 5-14 wt%. When the value obtained by dividing the concentration of the alkali metal, which is the first component of the glassy substance, as expressed in terms of an oxide, by an interface total distance (grain boundary length) at which Al2O3, ZrO2, and SiO2 are located adjacent to each other is defined as A, when the concentration of Si, which is the first component of the glassy substance, as expressed in terms of an oxide is defined as B, and when the total mass concentration of Ca, Sr, and Ba, which are each the second component of the glassy substance, as expressed in terms of an oxide is defined as C, the value of A/(B×C) is 7.1×10-4 or less.
Un substrat céramique selon la présente invention contient de l'alumine, de la zircone, de l'yttria, et une substance vitreuse. La substance vitreuse contient, en tant qu'éléments, Si, un métal alcalin, et O qui sont chacun un premier composant, et contient, en tant qu'élément, au moins l'un choisi parmi Ca, Sr et Ba qui sont chacun un second composant. La quantité contenue de zircone va de 5 à 14 % en poids. Lorsque la valeur obtenue en divisant la concentration du métal alcalin, qui est le premier composant de la substance vitreuse, telle qu'exprimée en termes d'oxyde, par une distance totale d'interface (longueur de limite de grain) à laquelle Al2O3, ZrO2 et SiO2 sont situés adjacents l'un à l'autre est définie comme étant A, lorsque la concentration de Si, qui est le premier composant de la substance vitreuse, telle qu'exprimée en termes d'oxyde est définie en tant que B, et lorsque la concentration massique totale de Ca, Sr, et Ba, qui sont chacun le second composant de la substance vitreuse, telle qu'exprimée en termes d'oxyde est définie en tant que C, la valeur de A(B/C) est 7,1×10-4 ou moins.
本発明に係るセラミック基板は、アルミナと、ジルコニアと、イットリアと、ガラス質と、を含有し、前記ガラス質は、第１成分として、元素として、Ｓｉ、アルカリ金属、及びＯを含み、第２成分として、元素として、Ｃａ、Ｓｒ、及びＢａから選択される少なくとも１種類を含み、前記ジルコニアの含有量が５～１４ｗｔ％であり、前記ガラス質の第１成分である前記アルカリ金属の酸化物換算での濃度を、Ａｌ2Ｏ3、ＺｒＯ2、ＳｉＯ2同士が各々隣接する界面総距離（粒界長さ）で除した値をＡとし、前記ガラス質の第１成分であるＳｉの酸化物換算での濃度をＢとし、前記ガラス質の第２成分であるＣａ、Ｓｒ、及びＢａの酸化物換算での合計質量濃度をＣとしたとき、Ａ／（Ｂ×Ｃ）の値が、７．１×１０-4以下である。
CERAMIC SUBSTRATE, AND SEMICONDUCTOR DEVICE SUBSTRATE PROVIDED WITH SAME
SUBSTRAT CÉRAMIQUE, ET SUBSTRAT DE DISPOSITIF SEMI-CONDUCTEUR LE COMPRENANT
セラミック基板、及びこれを備えた半導体装置用基板
TANABE SHOTA (author) / MORISHITA AKIFUMI (author) / HIBINO TOMOHIKO (author) / UETANI MASAYUKI (author) / YAMAMOTO JUNYA (author)
2024-03-14
Patent
Electronic Resource
Japanese
| European Patent Office | 2017
CERAMIC SUBSTRATE, CERAMIC CIRCUIT SUBSTRATE, AND SEMICONDUCTOR DEVICE
| European Patent Office | 2024
SINTERED CERAMIC AND SUBSTRATE COMPRISING SAME FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
European Patent Office | 2017
CIRCUIT SUBSTRATE AND HEAT DISSIPATION SUBSTRATE OR ELECTRONIC DEVICE PROVIDED WITH SAME
| European Patent Office | 2021
CERAMIC-COPPER CIRCUIT SUBSTRATE AND SEMICONDUCTOR DEVICE USING SAME
| European Patent Office | 2018