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    Titel:

    Incoming Inspection of Silicon-On-Insulator Substrates Using Spectroscopic and Single Wavelength Ellipsometry

    Beteiligte:

    Lynch, S. (Autor:in) / Crean, G. M. (Autor:in) / Hampshire, S. / Buggy, M. / Carr, A. J.

    Erschienen in:

    Proceedings of the 8th Irish Materials Forum Conference IMF8 University College, Dublin, September, 1992 ; 353

    KEY ENGINEERING MATERIALS

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1993

    Format / Umfang:

    353 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Unbekannt

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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