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New dry-etch chemistries for III-V semiconductors

Pearton, S. J. / Chakrabarti, U. K. / Ren, F. / Abernathy, C. R.

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Titel:

New dry-etch chemistries for III-V semiconductors

Beteiligte:

Pearton, S. J. (Autor:in) / Chakrabarti, U. K. (Autor:in) / Ren, F. (Autor:in) / Abernathy, C. R. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 25 ; 179

Erscheinungsdatum:

01.01.1994

Format / Umfang:

179 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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