Spectroellipsometric characterisation of thin epitaxial Si~1~-~xGe~x layers: Fid-Bau Portal

Spectroellipsometric characterisation of thin epitaxial Si~1~-~xGe~x layers

Libezny, M. / Caymax, M. / Brablec, A. / Kubena, J. / Holy, V. / Poortmans, J. / Nijs, J. / Vanhellemont, J.

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Titel:

Spectroellipsometric characterisation of thin epitaxial Si~1~-~xGe~x layers

Beteiligte:

Libezny, M. (Autor:in) / Caymax, M. (Autor:in) / Brablec, A. (Autor:in) / Kubena, J. (Autor:in) / Holy, V. (Autor:in) / Poortmans, J. (Autor:in) / Nijs, J. (Autor:in) / Vanhellemont, J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND TECHNOLOGY -LONDON- ; 11 ; 1065-1070

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0267-0836

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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