Disordered Si/SiGe superlattices grown by ultrahigh vacuum chemical vapor deposition: Fid-Bau Portal

Disordered Si/SiGe superlattices grown by ultrahigh vacuum chemical vapor deposition

Chang, T.-C. / Yeh, W.-K. / Chang, C.-Y. / Jung, T.-G. / Tsai, W.-C. / Huang, G.-W. / Mei, Y.-J.

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Titel:

Disordered Si/SiGe superlattices grown by ultrahigh vacuum chemical vapor deposition

Beteiligte:

Chang, T.-C. (Autor:in) / Yeh, W.-K. (Autor:in) / Chang, C.-Y. (Autor:in) / Jung, T.-G. (Autor:in) / Tsai, W.-C. (Autor:in) / Huang, G.-W. (Autor:in) / Mei, Y.-J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 92 ; 119-123

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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