Numerical study of gasdynamics influence on three-dimensional transport phenomena in vertical zinc selenide LPCVD reactor: Fid-Bau Portal

Numerical study of gasdynamics influence on three-dimensional transport phenomena in vertical zinc selenide LPCVD reactor

Garibin, E. A. / Mironov, I. A. / Khoruzhnikov, S. E. / Vorob'ev, A. N.

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Titel:

Numerical study of gasdynamics influence on three-dimensional transport phenomena in vertical zinc selenide LPCVD reactor

Beteiligte:

Garibin, E. A. (Autor:in) / Mironov, I. A. (Autor:in) / Khoruzhnikov, S. E. (Autor:in) / Vorob'ev, A. N. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 39 ; 8-14

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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