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Raman microprobe analysis of strained polysilicon deposited layers

Talaat, H. / Negm, S. / Schaffer, H. E. / Adar, F. / Nassiopoulos, A. G.

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Titel:

Raman microprobe analysis of strained polysilicon deposited layers

Beteiligte:

Talaat, H. (Autor:in) / Negm, S. (Autor:in) / Schaffer, H. E. (Autor:in) / Adar, F. (Autor:in) / Nassiopoulos, A. G. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 123/124 ; 742-745

Erscheinungsdatum:

01.01.1998

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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