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    Titel:

    Depth Profiling of Thin TiSi~x-Films on Silicon Carbide by SNMS

    Beteiligte:

    Getto, R. (Autor:in) / Freytag, J. (Autor:in) / Kopnarski, M. (Autor:in) / Oechsner, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 287/288 ; 231-234

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1998

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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