The advantages of normal incidence ultra-low energy secondary ion mass spectrometry depth profiling: Fid-Bau Portal

The advantages of normal incidence ultra-low energy secondary ion mass spectrometry depth profiling

Ormsby, T.J. / Chu, D.P. / Dowsett, M.G. / Cooke, G.A. / Patel, S.B.

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Titel:

The advantages of normal incidence ultra-low energy secondary ion mass spectrometry depth profiling

Beteiligte:

Ormsby, T.J. (Autor:in) / Chu, D.P. (Autor:in) / Dowsett, M.G. (Autor:in) / Cooke, G.A. (Autor:in) / Patel, S.B. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 144 ; 292-296

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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