Techniques for Depth Profiling of Dopants in 4H-SiC: Fid-Bau Portal

Techniques for Depth Profiling of Dopants in 4H-SiC

Osterman, J. / Hallen, A. / Anand, S. / Linnarsson, M. K. / Andersson, H. / Aberg, D. / Panknin, D. / Skorupa, W.

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Titel:

Techniques for Depth Profiling of Dopants in 4H-SiC

Beteiligte:

Osterman, J. (Autor:in) / Hallen, A. (Autor:in) / Anand, S. (Autor:in) / Linnarsson, M. K. (Autor:in) / Andersson, H. (Autor:in) / Aberg, D. (Autor:in) / Panknin, D. (Autor:in) / Skorupa, W. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 353/356 ; 559-562

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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