Chemical Mechanical Polishing of Silica Dielectric in ULSI Manufacturing: Fid-Bau Portal

Chemical Mechanical Polishing of Silica Dielectric in ULSI Manufacturing

Tan, B.-m. / Liu, Y.-l. / Lian, J.

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Titel:

Chemical Mechanical Polishing of Silica Dielectric in ULSI Manufacturing

Beteiligte:

Tan, B.-m. (Autor:in) / Liu, Y.-l. (Autor:in) / Lian, J. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL- HEBEI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY ; 30 ; 32-36

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1007-2373

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620

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