Silicon Films Produced by PECVD under Powder Formation Conditions: Fid-Bau Portal

Silicon Films Produced by PECVD under Powder Formation Conditions

Martins, R. / Aguas, H. / Silva, V. / Ferreira, I. / Cabrita, A. / Fortunato, E.

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Titel:

Silicon Films Produced by PECVD under Powder Formation Conditions

Beteiligte:

Martins, R. (Autor:in) / Aguas, H. (Autor:in) / Silva, V. (Autor:in) / Ferreira, I. (Autor:in) / Cabrita, A. (Autor:in) / Fortunato, E. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 382 ; 21-30

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

10 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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