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Shon, C. H. / Lee, J. K.

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Titel:

Modeling of magnetron sputtering plasmas

Beteiligte:

Shon, C. H. (Autor:in) / Lee, J. K. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 192 ; 258-269

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

12 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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