SIMS depth profiling of advanced gate dielectric materials: Fid-Bau Portal

SIMS depth profiling of advanced gate dielectric materials

Bennett, J. / Gondran, C. / Sparks, C. / Hung, P. Y. / Hou, A.

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Titel:

SIMS depth profiling of advanced gate dielectric materials

Beteiligte:

Bennett, J. (Autor:in) / Gondran, C. (Autor:in) / Sparks, C. (Autor:in) / Hung, P. Y. (Autor:in) / Hou, A. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 203-204 ; 409-413

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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