Scanning spreading resistance microscopy of aluminum implanted 4H-SiC: Fid-Bau Portal

Scanning spreading resistance microscopy of aluminum implanted 4H-SiC

Osterman, J. / Abtin, L. / Zimmermann, U. / Janson, M. S. / Anand, S. / Hallin, C. / Hallen, A.

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Titel:

Scanning spreading resistance microscopy of aluminum implanted 4H-SiC

Beteiligte:

Osterman, J. (Autor:in) / Abtin, L. (Autor:in) / Zimmermann, U. (Autor:in) / Janson, M. S. (Autor:in) / Anand, S. (Autor:in) / Hallin, C. (Autor:in) / Hallen, A. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 102 ; 128-131

Erscheinungsdatum:

01.01.2003

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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