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    Titel:

    Effect of Pre-Thin-Surface Grinding on Copper Chemical Mechanical Polishing

    Beteiligte:

    Watanabe, J. (Autor:in) / Hisamatsu, T. (Autor:in) / Hirano, M. (Autor:in) / Pearce, T. / Gao, Y. / Tamaki, J. / Kuriyagawa, T.

    Erschienen in:

    Advances in Abrasive Technology VI ; 407-412

    KEY ENGINEERING MATERIALS

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2004

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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