Chemical-mechanical polishing of copper using molybdenum dioxide slurry: Fid-Bau Portal

Chemical-mechanical polishing of copper using molybdenum dioxide slurry

Hegde, S. / Patri, U. B. / Babu, S. V.

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Titel:

Chemical-mechanical polishing of copper using molybdenum dioxide slurry

Beteiligte:

Hegde, S. (Autor:in) / Patri, U. B. (Autor:in) / Babu, S. V. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH THEN WARRENDALE- ; 20 ; 2553-2561

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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