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    Titel:

    Preparation of amorphous carbon nitride films from toluene and nitrogen by rf-PECVD

    Beteiligte:

    Aono, M. (Autor:in) / Yamaguchi, K. (Autor:in) / Kitazawa, N. (Autor:in) / Watanabe, Y. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND TECHNOLOGY -LONDON- ; 20 ; 1119-1122

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2004

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0267-0836

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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