Computational methods for the simulation of the excimer laser annealing in MOS technology: Fid-Bau Portal

Computational methods for the simulation of the excimer laser annealing in MOS technology

Magna, A. L. / Alippi, P. / Mannino, G. / Privitera, V. / Fortunato, G. / Mariucci, L. / Camalleri, M. / Monakhov, E. / Svensson, B.

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Titel:

Computational methods for the simulation of the excimer laser annealing in MOS technology

Beteiligte:

Magna, A. L. (Autor:in) / Alippi, P. (Autor:in) / Mannino, G. (Autor:in) / Privitera, V. (Autor:in) / Fortunato, G. (Autor:in) / Mariucci, L. (Autor:in) / Camalleri, M. (Autor:in) / Monakhov, E. (Autor:in) / Svensson, B. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 114/115 ; 100-104

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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