Modeling of extrinsic extended defect evolution in ion-implanted silicon upon thermal annealing: Fid-Bau Portal

Modeling of extrinsic extended defect evolution in ion-implanted silicon upon thermal annealing

Ortiz, C. J. / Cristiano, F. / Colombeau, B. / Claverie, A. / Cowern, N. E.

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Titel:

Modeling of extrinsic extended defect evolution in ion-implanted silicon upon thermal annealing

Beteiligte:

Ortiz, C. J. (Autor:in) / Cristiano, F. (Autor:in) / Colombeau, B. (Autor:in) / Claverie, A. (Autor:in) / Cowern, N. E. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 114/115 ; 184-192

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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