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    Dokumentinformationen
    Titel:

    High resolution deep level transient spectroscopy and process-induced defects in silicon

    Beteiligte:

    Evans-Freeman, J. H. (Autor:in) / Emiroglu, D. (Autor:in) / Vernon-Parry, K. D. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 114/115 ; 307-311

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2004

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0921-5107

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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