Studies of ultra shallow n+-p junctions formed by low-energy As-implantation: Fid-Bau Portal

Studies of ultra shallow n+-p junctions formed by low-energy As-implantation

Girginoudi, D. / Georgoulas, N. / Thanailakis, A. / Polychroniadis, E. K.

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Titel:

Studies of ultra shallow n+-p junctions formed by low-energy As-implantation

Beteiligte:

Girginoudi, D. (Autor:in) / Georgoulas, N. (Autor:in) / Thanailakis, A. (Autor:in) / Polychroniadis, E. K. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 114/115 ; 381-385

Erscheinungsdatum:

01.01.2004

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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