Step Structures Produced by Hydrogen Etching of Initially Step-Free (0001) 4H-SiC Mesas: Fid-Bau Portal

Step Structures Produced by Hydrogen Etching of Initially Step-Free (0001) 4H-SiC Mesas

Powell, J. A. / Neudeck, P. G. / Trunek, A. J. / Abel, P. B.

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Titel:

Step Structures Produced by Hydrogen Etching of Initially Step-Free (0001) 4H-SiC Mesas

Beteiligte:

Powell, J. A. (Autor:in) / Neudeck, P. G. (Autor:in) / Trunek, A. J. (Autor:in) / Abel, P. B. (Autor:in) / Nipoti, R. / Poggi, A. / Scorzoni, A.

Erschienen in:

Silicon Carbide and Related Materials 2004 ; 753-756

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 483/485

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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