SAXS analysis of the effect of H2 dilution on microstructural changes of HWCVD deposited a-SiC:H: Fid-Bau Portal

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Swain, B. P.

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Titel:

SAXS analysis of the effect of H2 dilution on microstructural changes of HWCVD deposited a-SiC:H

Beteiligte:

Swain, B. P. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 60 ; 2767-2772

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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