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Effect of substrate temperature on HWCVD deposited a-SiC:H film

Swain, B. P. / Dusane, R. O.

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Titel:

Effect of substrate temperature on HWCVD deposited a-SiC:H film

Beteiligte:

Swain, B. P. (Autor:in) / Dusane, R. O. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 61 ; 4731-4734

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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