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Nitrogen-doped Czochralski silicon treated in rapid thermal process

Yang, D. / Li, M. / Cui, C. / Ma, X. / Que, D.

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Titel:

Nitrogen-doped Czochralski silicon treated in rapid thermal process

Beteiligte:

Yang, D. (Autor:in) / Li, M. (Autor:in) / Cui, C. (Autor:in) / Ma, X. (Autor:in) / Que, D. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B -LAUSANNE- ; 134 ; 193-201

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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