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    Titel:

    Structural and photo-luminescence properties of nanocrystalline silicon films deposited at low temperature by plasma-enhanced chemical vapor deposition

    Beteiligte:

    Ali, A. M. (Autor:in) / Inokuma, T. (Autor:in) / Hasegawa, S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 1198-1204

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2006

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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