Using Vapour-Liquid-Solid Mechanism for SiC Homoepitaxial Growth on on-axis alpha-SiC (0001) at Low Temperature: Fid-Bau Portal

Using Vapour-Liquid-Solid Mechanism for SiC Homoepitaxial Growth on on-axis alpha-SiC (0001) at Low Temperature

Soueidan, M. / Ferro, G. / Cauwet, F. / Mollet, L. / Jacquier, C. / Younes, G. / Monteil, Y.

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Titel:

Using Vapour-Liquid-Solid Mechanism for SiC Homoepitaxial Growth on on-axis alpha-SiC (0001) at Low Temperature

Beteiligte:

Soueidan, M. (Autor:in) / Ferro, G. (Autor:in) / Cauwet, F. (Autor:in) / Mollet, L. (Autor:in) / Jacquier, C. (Autor:in) / Younes, G. (Autor:in) / Monteil, Y. (Autor:in) / Devaty, R. P. / Larkin, D. J. / Saddow, S. E.

Erschienen in:

Silicon Carbide and Related Materials - 2005 ; 271-274

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 527/529

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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