Accurate CsM^+ SIMS Aluminum Dopant Profiling in SiC: Fid-Bau Portal

Accurate CsM^+ SIMS Aluminum Dopant Profiling in SiC

Smith, H. E. / Tsao, B. H. / Scofield, J. D.

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Titel:

Accurate CsM^+ SIMS Aluminum Dopant Profiling in SiC

Beteiligte:

Smith, H. E. (Autor:in) / Tsao, B. H. (Autor:in) / Scofield, J. D. (Autor:in) / Devaty, R. P. / Larkin, D. J. / Saddow, S. E.

Erschienen in:

Silicon Carbide and Related Materials - 2005 ; 629-632

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 527/529

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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