Micro-area analysis in SIMS depth profiling by mesa-structure preparation: Fid-Bau Portal

Micro-area analysis in SIMS depth profiling by mesa-structure preparation

Seki, S. / Tamura, H. / Wada, Y. / Tsutsui, K. / Ootomo, S.

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Titel:

Micro-area analysis in SIMS depth profiling by mesa-structure preparation

Beteiligte:

Seki, S. (Autor:in) / Tamura, H. (Autor:in) / Wada, Y. (Autor:in) / Tsutsui, K. (Autor:in) / Ootomo, S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 1373-1376

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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