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    Titel:

    Evaluation of the barrier capability of Zr-Si films with different substrate temperature for Cu metallization

    Beteiligte:

    Wang, Y. (Autor:in) / Cao, F. (Autor:in) / Ding, M. h. (Autor:in) / Shao, L. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 4738-4741

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2009

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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