Structure and Properties of the DLC Films Deposited by RF-PECVD Process: Fid-Bau Portal

Structure and Properties of the DLC Films Deposited by RF-PECVD Process

Xie, H.-x. / Ling, G. / Zhu, Z.-t.

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Titel:

Structure and Properties of the DLC Films Deposited by RF-PECVD Process

Beteiligte:

Xie, H.-x. (Autor:in) / Ling, G. (Autor:in) / Zhu, Z.-t. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -HANGZHOU- ; 27 ; 190-194

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1673-2812

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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