Thermal reliability of thin SiGe epilayers: Fid-Bau Portal

Thermal reliability of thin SiGe epilayers

Wu, M. J. / Wen, H. C. / Chiang, T. Y. / Tsai, C. H. / Hsu, W. K. / Chou, C. P.

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Titel:

Thermal reliability of thin SiGe epilayers

Beteiligte:

Wu, M. J. (Autor:in) / Wen, H. C. (Autor:in) / Chiang, T. Y. (Autor:in) / Tsai, C. H. (Autor:in) / Hsu, W. K. (Autor:in) / Chou, C. P. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 258 ; 5001-5004

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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