Closed-Loop Control of a SOI-MEMS Resonant Accelerometer with Electromagnetic Excitation: Fid-Bau Portal

Closed-Loop Control of a SOI-MEMS Resonant Accelerometer with Electromagnetic Excitation

Shang, Y.L. / Wang, J.B. / Chen, D.Y. / Shi, Q. / Li, G.B.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Closed-Loop Control of a SOI-MEMS Resonant Accelerometer with Electromagnetic Excitation

Shang, Y.L. / Wang, J.B. / Chen, D.Y. / Shi, Q. / Li, G.B.

Closed-Loop Control of a SOI-MEMS Resonant Accelerometer with Electromagnetic Excitation

Shang, Y.L. / Wang, J.B. / Chen, D.Y. / Shi, Q. / Li, G.B.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Closed-Loop Control of a SOI-MEMS Resonant Accelerometer with Electromagnetic Excitation

Beteiligte:

Shang, Y.L. (Autor:in) / Wang, J.B. (Autor:in) / Chen, D.Y. (Autor:in) / Shi, Q. (Autor:in) / Li, G.B. (Autor:in) / Wang, X.

Erschienen in:

Micro-Nano Technology XIII Selected, peer reviewed papers from the 13th Annual Conference of Chinese Society of Micro-Nano Technology, September 28-30, 2011, Changchow, China ; 211-215

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 503

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

Hyun, C. / Lee, J. G. / Kang, T. S. | British Library Online Contents | 2006

Nonlinearity Analysis of Closed-Loop Sigma Delta Micro-Mechanical Accelerometer

Liu, X.W. / Xu, H.L. / Lv, B.J. et al. | British Library Online Contents | 2013

A Monolithic MEMS Accelerometer Process

Li, X.G. / Mei, Y. / Huang, W.G. et al. | British Library Online Contents | 2011

A High-Performance Closed-Loop Fourth-Order Sigma-Delta Micro-Machined Accelerometer

Lv, B.J. / Wang, P.F. / Wang, D.B. et al. | British Library Online Contents | 2012

Study on Parameters of MEMS Accelerometer

Ma, S.M. / Chen, C. / Wang, T. et al. | British Library Online Contents | 2013

Nach oben