Inductively coupled plasma etching to fabricate sensing window for polymer waveguide biosensor application: Fid-Bau Portal

Inductively coupled plasma etching to fabricate sensing window for polymer waveguide biosensor application

Wang, X. / Meng, J. / Sun, X. / Yang, T. / Sun, J. / Chen, C. / Zheng, C. / Zhang, D.

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Titel:

Inductively coupled plasma etching to fabricate sensing window for polymer waveguide biosensor application

Beteiligte:

Wang, X. (Autor:in) / Meng, J. (Autor:in) / Sun, X. (Autor:in) / Yang, T. (Autor:in) / Sun, J. (Autor:in) / Chen, C. (Autor:in) / Zheng, C. (Autor:in) / Zhang, D. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 259 ; 105-109

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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