Identification of nanoscale structure and morphology reconstruction in oxidized a-SiC:H thin films: Fid-Bau Portal

Identification of nanoscale structure and morphology reconstruction in oxidized a-SiC:H thin films

Vasin, A. V. / Rusavsky, A. V. / Nazarov, A. N. / Lysenko, V. S. / Lytvyn, P. M. / Strelchuk, V. V. / Kholostov, K. I. / Bondarenko, V. P. / Starik, S. P.

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Vasin, A. V. / Rusavsky, A. V. / Nazarov, A. N. / Lysenko, V. S. / Lytvyn, P. M. / Strelchuk, V. V. / Kholostov, K. I. / Bondarenko, V. P. / Starik, S. P.

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Vasin, A. V. / Rusavsky, A. V. / Nazarov, A. N. / Lysenko, V. S. / Lytvyn, P. M. / Strelchuk, V. V. / Kholostov, K. I. / Bondarenko, V. P. / Starik, S. P.

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Titel:

Identification of nanoscale structure and morphology reconstruction in oxidized a-SiC:H thin films

Beteiligte:

Vasin, A. V. (Autor:in) / Rusavsky, A. V. (Autor:in) / Nazarov, A. N. (Autor:in) / Lysenko, V. S. (Autor:in) / Lytvyn, P. M. (Autor:in) / Strelchuk, V. V. (Autor:in) / Kholostov, K. I. (Autor:in) / Bondarenko, V. P. (Autor:in) / Starik, S. P. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 260 ; 73-76

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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