Acoustic spectroscopy and electrical characterization of Si/NAOS-SiO2/HfO2 structures: Fid-Bau Portal

Acoustic spectroscopy and electrical characterization of Si/NAOS-SiO2/HfO2 structures

Bury, P. / Matsumoto, T. / Bellan, I. / Janek, M. / Kobayashi, H.

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Titel:

Acoustic spectroscopy and electrical characterization of Si/NAOS-SiO2/HfO2 structures

Beteiligte:

Bury, P. (Autor:in) / Matsumoto, T. (Autor:in) / Bellan, I. (Autor:in) / Janek, M. (Autor:in) / Kobayashi, H. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 269 ; 50-54

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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