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Endpoint detection of Ge"2Sb"2Te"5 during chemical mechanical planarization

He, A. / Liu, B. / Song, Z. / Liu, W. / Lu, Y. / Wang, L. / Wu, G. / Feng, S.

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Endpoint detection of Ge"2Sb"2Te"5 during chemical mechanical planarization

Beteiligte:

He, A. (Autor:in) / Liu, B. (Autor:in) / Song, Z. (Autor:in) / Liu, W. (Autor:in) / Lu, Y. (Autor:in) / Wang, L. (Autor:in) / Wu, G. (Autor:in) / Feng, S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 283 ; 304-308

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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