Hetero-epitaxial Γ-Al2O3 on Si (100) substrate by sputtering: Fid-Bau Portal

Hetero-epitaxial Γ-Al2O3 on Si (100) substrate by sputtering

Liao, Y. X. / Shrestha, S. / Huang, S. J. / Conibeer, G.

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Titel:

Hetero-epitaxial Γ-Al2O3 on Si (100) substrate by sputtering

Beteiligte:

Liao, Y. X. (Autor:in) / Shrestha, S. (Autor:in) / Huang, S. J. (Autor:in) / Conibeer, G. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 141 ; 20-22

Erscheinungsdatum:

01.01.2015

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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