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    Titel:

    Self Focusing SIMS: Probing thin film composition in very confined volumes

    Beteiligte:

    Franquet, A. (Autor:in) / Douhard, B. (Autor:in) / Melkonyan, D. (Autor:in) / Favia, P. (Autor:in) / Conard, T. (Autor:in) / Vandervorst, W. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 365 ; 143-152

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2016

    Format / Umfang:

    10 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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